技术参数:
1. 发射源:肖特基热场发射电子枪
2. 分辨率:0.5nm 15kV,1.0nm 1kV(非样品台减速模式)
3. 加速电压:20V~30kV,10V步进连续可调
4. 电子束流:最大束流≥20nA
5. 放大倍数:范围8x~2,000,000x,可进行粗调和精调两种调节模式
主要配置:
1. 仓室中二次电子探测器
2. 镜筒内二次电子探测器
3. 背散射电子探测器
4. 内置切片系统
主要功能和服务范围:
1. GeminiSEM 360‑Volutome 是将场发射扫描电子显微镜与切片系统深度集成的三维体成像解决方案,用于实现样品的自动连续切片 + 高分辨SEM成像 + 三维重构。
2. 该系统以GeminiSEM 360电镜主机为核心,配合 Volutome 内置切片系统与专用探测器、真空与软件体系,适用于生物组织、细胞纳米级结构三维分析场景。同时兼顾扫描电镜常规成像需求,实现样品形貌成像、亚细胞结构成像等。
厂家/型号:
德国ZEISS/GeminiSEM 360‑Volutome
